低溫等離子體凈化法低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)以后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓到達(dá)氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，發(fā)生包含電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中盡管電子溫度很高，但重粒子溫度很低，全部系統(tǒng)呈現(xiàn)低溫狀況，所以稱為低溫等離子體